最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
S系列气体层流质量流量计用于实时测量过程气体的流量，特有的层流压差技术及独创核心算法，内置的高精度压力、温度传感器实时补偿，产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量等特点，强大的触摸显示屏可显示实时压力、温度、工况流量、标况流量、累计流量，多气体触摸式切换，无须转化系数。
| 型 号 |
PIPG-S101 PIPG-S201 |
PIPG-S102 PIPG-S202 |
PIPG-S120 PIPG-S220 |
PIPG-S150 PIPG-S250 |
| 流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
| 性能参数 | ||
|---|---|---|
| 准 确 度 |
±0.5%~1.0%RD（20%～100%量程范围） 或 ±0.2％F.S.（≤20%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） S100-WR：±1.0%RD （10%～100%量程范围） 或 ±0.1％F.S.（≤10%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） |
|
| 重复精度 |
±0.1%~0.2%F.S. |
|
| 压力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压)) | |
| 温度漂移 | Zero：≤±0.02%F.S./℃ Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃） | |
| 工作范围 | 1%～100%F.S.(最大可达120%F.S.) | |
| 使用条件 | |
|---|---|
| 介质温度范围 | -20℃～60℃ |
| 环境温度范围 | -20℃～50℃ |
| 使用湿度范围 | 0%～98%（无冷凝） |
| 满量程压损 | 4kPa |
| 耐 压 | 1.5MPa |
| 工作压力范围 | 60kPa~1MPa |
| 供电电压 | 24V ±20% |
| 消耗电流 | < 150mA（＜3W） |
| 安装方式 | 无指定（任意角度） |
| 接气部材质 | SUS304，SUS316L |
| 显示方式 | 彩色LCD触摸屏 |
| 输出方式 | 标配：数字：RS485 选配：Profibus 模拟：(0~5)V/(4～20)mA； |
