最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
SC系列层流质量流量控制器用于实时控制过程气体的流量，特有的层流压差技术，配合高精度压力、温度传感器实现的补偿，及独创核心算法，使得产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量的特点，强大的触摸显示屏可直接输入设定流量，显示实时压力、温度、工况流量、标况流量，流量计和控制器模式随意切换，多气体、多量程，无须转化系数。
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型 号 |
PIPG-SC101 PIPG-SC201 |
PIPG-SC102 PIPG-SC202 |
PIPG-SC120 PIPG-SC220 |
PIPG-SC150 PIPG-SC250 |
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流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、2000、 3000、4000、5000 SLPM |
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阀门种类 |
N/C（常闭型） |
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性能指标 |
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准 确 度 |
±0.5~1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围) ±0.2%F.S.(满量程)(1%～20%量程范围)、精度保证范围(-20℃～60℃) SC100-WR：±1.0%S.P.(设定值)(10%～100%量程范围) ±0.1%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)、精度保证范围(-20℃～60℃) |
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重复精度 |
±0.1%~0.2%F.S. |
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| 压力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压)) | |||
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温度漂移 |
Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃） |
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工作范围 |
1%～100%F.S. |
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响应时间 |
≤700ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
-20℃～60℃ |
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| 环境温度范围 | -20℃～50℃ | |||
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使用湿度范围 |
0%～98%（无冷凝） |
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| 工作压差范围 | 100kPa~700kPa | |||
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耐 压 |
1.5MPa |
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最大工作压力 |
1MPa |
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供电电压 |
24V ±20% |
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消耗电流 |
< 500mA（＜12W） |
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安装方式 |
无指定（任意角度） |
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接气部材质 |
SUS304、SUS316L |
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密封部材质 |
橡胶圈密封：氟橡胶 |
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显示方式 |
彩色LCD触摸屏 |
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通信方式 |
标配：数字：RS485 选配：Profibus 模拟：(0～5 )V/(4~20)mA |
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