最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
MC系列层流质量流量控制器与SC系列层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏，基于压力式的层流压差技术，不受制于来流状态的影响，配合高精度压力、温度传感器实现精确压力、温度补偿，使得产品在较宽的温度、压力范围内迅速达到流量设定值，保障了测量的精度和控制的稳定性。模拟信号和数字信号的通讯方式，适用于配套过程控制的客户。
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型 号 |
PIPG-MC101 PIPG-MC201 |
PIPG-MC102 PIPG-MC202 |
PIPG-MC120 PIPG-MC220 |
PIPG-MC150 PIPG-MC250 |
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流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、2000、 3000、4000、5000 SLPM |
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阀门种类 |
N/C（常闭型） |
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性能指标 |
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准 确 度 |
±0.5~1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围) ±0.2%F.S.(满量程)(1%～20%量程范围)、精度保证范围(-20℃～60℃) MC100-WR：±1.0%S.P.(设定值)(10%～100%量程范围) ±0.1%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)、精度保证范围(-20℃～60℃) |
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重复精度 |
±0.1%~0.2%F.S. |
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| 压力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压)) | |||
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温度漂移 |
Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃） |
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工作范围 |
1%～100%F.S. |
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响应时间 |
≤700ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
-20℃～60℃ |
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| 环境温度范围 | -20℃～50℃ | |||
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使用湿度范围 |
0%～98%（无冷凝） |
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| 工作压差范围 | 100kPa~700kPa | |||
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耐 压 |
1.5MPa |
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最大工作压力 |
1MPa |
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供电电压 |
24V ±20% |
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消耗电流 |
< 500mA（＜12W） |
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安装方式 |
无指定（任意角度） |
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接气部材质 |
SUS304、SUS316L |
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密封部材质 |
橡胶圈密封：氟橡胶 |
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通信方式 |
标配：数字：RS485 选配：Profibus 模拟：(0～5 )V/(4~20)mA |
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